| 一般注記 |
SRC:マイクロマシン技術専門用語 = Technical terms in micromachine technology(マイクロマシンセンター, 1998.10)
EDSRC:Proceedings, IEEE the Thirteenth Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems : Miyazaki, Japan, January 23-27, 2000 / sponsored by the IEEE Robotics and Automation Society in cooperation with the Micromachine Center(IEEE Service Center,2000)
EDSRC:マイクロマシン = Micromachine / マイクロマシンセンター(マイクロマシンセンター)
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