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ハンドウタイ ケンキュウ

半導体研究 / 半導体研究振興会編

データ種別 図書
出版者 東京 : 工業調査会
本文言語 日本語
大きさ 冊 ; 27cm

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1 14 . 超LSI技術 ; 1 微細加工 / 半導体研究振興会編 東京 : 工業調査会 , 1977.12
2 15巻 . 超LSI技術 ; 2 回路設計 / 西澤潤一編著 東京 : 工業調査会 , 1978.4
3 16巻, 19巻, 22巻 . 超LSI技術 ; 3, 6, 9 半導体プロセス / 西澤潤一編 [その1],その2,その3. - 東京 : 工業調査会 , 1979.8-1985.8
4 17巻 . 超LSI技術 ; 4 プロセス評価 / 西澤潤一編 東京 : 工業調査会 , 1981.6
5 18巻 . 超LSI技術 ; 5 LSIの将来技術 / 西澤潤一編 東京 : 工業調査会 , 1982.5
6 21巻 . 超LSI技術 ; 8 プロセスの低温化 / 西澤潤一編 東京 : 工業調査会 , 1985.3
7 25, 27, 29, 31, 33, 35, 37, 39巻 化合物半導体の結晶成長と評価 / 西澤潤一編 [その1] - その8. - 東京 : 工業調査会 , 1986.8-
8 26, 28, 30, 32, 34, 36, 38, 40-46巻 . 超LSI技術 ; 11-24 デバイスとプロセス / 西澤潤一編 [その1] - その14. - 東京 : 工業調査会 , 1987.8-

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一般注記 出版社変更:産報
著者標目 半導体研究振興会 <ハンドウタイ ケンキュウ シンコウカイ>
書誌ID 1000001414

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