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ドライ プロセス オウヨウ ギジュツ : チョウビサイ ソシ ノ セイホウ

ドライプロセス応用技術 : 超微細素子の製法 / 小林春洋〔ほか〕著

データ種別 図書
出版者 東京 : 日刊工業新聞社
出版年 1984.7
本文言語 日本語
大きさ 199,6p ; 22cm

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配架場所 巻 次 請求記号 登録番号 状 態 ISBN 資料種別 利用注記 請求メモ 予約
2F書庫1-和書
549/KO12 000632495 4526017442 図書

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著者標目 小林, 春洋(1925-) <コバヤシ, ハルヒロ>
件 名 NDLSH:電子部品
NDLSH:薄膜
NDLSH:印刷回路
分 類 NDC8:549.8
NDLC:ND354
書誌ID 1000029931
ISBN 4526017442

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