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VLSI ノ ハクマク ギジュツ

VLSIの薄膜技術 / 伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著

(電子材料シリーズ)
データ種別 図書
出版者 東京 : 丸善
出版年 1986.9
本文言語 日本語
大きさ xii, 250p ; 22cm

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配架場所 巻 次 請求記号 登録番号 状 態 ISBN 資料種別 利用注記 請求メモ 予約
2F書庫1-和書
549.7/I 89 002019903 4621031120 図書

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一般注記 各章末:文献
著者標目 伊藤, 隆司 <イトウ, タカシ>
石川, 元 <イシカワ, ハジメ>
中村, 宏昭 <ナカムラ, ヒロアキ>
件 名 BSH:集積回路
BSH:薄膜
NDLSH:集積回路
NDLSH:薄膜
分 類 NDC8:549.7
NDC7:549.8
NDLC:ND386
書誌ID 1000030260
ISBN 4621031120

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