ニュウモン シンクウ ハクマク スパッタリング
入門真空・薄膜・スパッタリング / R.V.Stuart著 ; 毛利衛, 数坂昭夫共訳
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 技報堂出版 |
| 出版年 | 1985.10 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | 2,2,3,145p ; 22cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | ISBN | 資料種別 | 利用注記 | 請求メモ | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F書庫1-和書 |
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534.93/ST 9 | 002122863 | 4765503585 | 図書 |
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