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ニュウモン シンクウ ハクマク スパッタリング

入門真空・薄膜・スパッタリング / R.V.Stuart著 ; 毛利衛, 数坂昭夫共訳

Material Type Books
Publisher 東京 : 技報堂出版
Year 1985.10
Language Japanese
Size 2,2,3,145p ; 22cm

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Location Volume Call No. Barcode No. Status ISBN Media type Restriction Request Memo Reserve
2F書庫1-和書
534.93/ST 9 002122863 4765503585 図書

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Other titles original title:Vacuum technology, thin films, and sputtering
variant access title:真空・薄幕・スパッタリング : 入門
Authors Stuart, R. V. 著 <モウリ, マモル>
毛利, 衛 <カズサカ, アキオ>
数坂, 昭夫
Subjects NDLSH:真空工学
NDLSH:薄膜
Classification NDC8:534.93
NDLC:NB126
ID 1000036638
ISBN 4765503585

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