プラズマ プロセシング ノ キソ
プラズマプロセシングの基礎 / Brian N. Chapman著 ; 岡本幸雄訳
| Material Type | Books |
|---|---|
| Publisher | 東京 : 電気書院 |
| Year | 1985.11 |
| Language | Japanese |
| Size | 13, 391p ; 22cm |
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| Location | Volume | Call No. | Barcode No. | Status | ISBN | Media type | Restriction | Request Memo | Reserve |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F書庫1-和書 |
|
427.6/C 31 | 002207522 | 4485661180 | 図書 |
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| Other titles | original title:Glow discharge processes : sputtering and plasma etching |
|---|---|
| Notes | Glow discharge processes, c1980 の翻訳 参考文献: p[357]-386 |
| Authors | Chapman, Brian N. <オカモト, ユキオ> 岡本, 幸雄 |
| Subjects | NDLSH:プラズマ |
| Classification | NDC8:427.6 NDLC:MC241 |
| ID | 1000042806 |
| ISBN | 4485661180 |
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