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プラズマ ト セイマク ノ キソ

プラズマと成膜の基礎 / 小沼光晴著

データ種別 図書
出版者 東京 : 日刊工業新聞社
出版年 1986.8
本文言語 日本語
大きさ iv, 202, iiip ; 22cm

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配架場所 巻 次 請求記号 登録番号 状 態 ISBN 資料種別 利用注記 請求メモ 予約
2F書庫1-和書
427.6/KO71 002207534 4526020656 図書

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一般注記 各章末: 文献
著者標目 小沼, 光晴(1950-) <コヌマ, ミツハル>
件 名 BSH:プラズマ
NDLSH:プラズマ
分 類 NDC8:427.6
NDC8:431.7
NDC7:427.5
書誌ID 1000043806
ISBN 4526020656

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