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プラズマ ト セイマク ノ キソ
プラズマと成膜の基礎 / 小沼光晴著
データ種別
図書
出版者
東京 : 日刊工業新聞社
出版年
1986.8
本文言語
日本語
大きさ
iv, 202, iiip ; 22cm
所蔵情報を非表示
配架場所
巻 次
請求記号
登録番号
状 態
ISBN
資料種別
利用注記
請求メモ
予約
2F書庫1-和書
427.6/KO71
002207534
4526020656
図書
書誌詳細を非表示
一般注記
各章末: 文献
著者標目
小沼, 光晴(1950-)
<コヌマ, ミツハル>
件 名
BSH:
プラズマ
NDLSH:
プラズマ
分 類
NDC8:
427.6
NDC8:
431.7
NDC7:
427.5
書誌ID
1000043806
ISBN
4526020656
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