プラズマ ト セイマク ノ キソ
プラズマと成膜の基礎 / 小沼光晴著
| Material Type | Books |
|---|---|
| Publisher | 東京 : 日刊工業新聞社 |
| Year | 1986.8 |
| Language | Japanese |
| Size | iv, 202, iiip ; 22cm |
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| Location | Volume | Call No. | Barcode No. | Status | ISBN | Media type | Restriction | Request Memo | Reserve |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F書庫1-和書 |
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427.6/KO71 | 002207534 | 4526020656 | 図書 |
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