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シリコン熱酸化膜とその界面 : 基礎物性から超LSIへの応用まで / 谷口研二〔編〕

データ種別 図書
出版者 東京 : リアライズ社
出版年 1991.7
本文言語 日本語
大きさ 422p ; 27cm

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配架場所 巻 次 請求記号 登録番号 状 態 ISBN 資料種別 利用注記 請求メモ 予約
2F書庫1-和書
549.8/TA87 010051090 4947655445 図書

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一般注記 各章末:参考文献
著者標目 谷口, 研二(1948-) <タニグチ, ケンジ>
件 名 NDLSH:シリコン(半導体)
分 類 NDC8:549.8
NDLC:ND371
書誌ID 1000046573
ISBN 4947655445

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