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ULSI プロセス ギジュツ

ULSIプロセス技術 / 原央編

(アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修;カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 17)
データ種別 図書
出版者 東京 : 培風館
出版年 1997.6
本文言語 日本語
大きさ x, 286p ; 22cm

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配架場所 巻 次 請求記号 登録番号 状 態 ISBN 資料種別 利用注記 請求メモ 予約
2F書庫1-和書
549.7/H 31 010137345 456303617X 図書

書誌詳細を非表示

一般注記 執筆: 有門経敏ほか
参考文献: 各章末
索引あり
著者標目 原, 央 <ハラ, ヒサシ>
件 名 NDLSH:集積回路
分 類 NDC8:549.7
NDC9:549.7
書誌ID 1000051381
ISBN 456303617X

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