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ULSI プロセス ギジュツ
ULSIプロセス技術 / 原央編
(
アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修
;
カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 17
)
データ種別
図書
出版者
東京 : 培風館
出版年
1997.6
本文言語
日本語
大きさ
x, 286p ; 22cm
所蔵情報を非表示
配架場所
巻 次
請求記号
登録番号
状 態
ISBN
資料種別
利用注記
請求メモ
予約
2F書庫1-和書
549.7/H 31
010137345
456303617X
図書
書誌詳細を非表示
一般注記
執筆: 有門経敏ほか
参考文献: 各章末
索引あり
著者標目
原, 央
<ハラ, ヒサシ>
件 名
NDLSH:
集積回路
分 類
NDC8:
549.7
NDC9:
549.7
書誌ID
1000051381
ISBN
456303617X
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