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ウルトラクリーン ULSI ギジュツ

ウルトラクリーンULSI技術 / 大見忠弘著

(アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修;カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 15)
データ種別 図書
出版者 東京 : 培風館
出版年 1995.12
本文言語 日本語
大きさ xi, 366p ; 22cm

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配架場所 巻 次 請求記号 登録番号 状 態 ISBN 資料種別 利用注記 請求メモ 予約
2F書庫1-和書
549.7/O 69 010135885 4563036153 図書

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別書名 異なりアクセスタイトル:ウルトラクリーンULSI技術
一般注記 参考文献: 各章末
著者標目 大見, 忠弘(1939-) <オオミ, タダヒロ>
件 名 BSH:集積回路
NDLSH:半導体
分 類 NDC8:549.7
NDC8:549.8
NDLC:ND371
書誌ID 1000051383
ISBN 4563036153

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