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ウルトラクリーン ULSI ギジュツ
ウルトラクリーンULSI技術 / 大見忠弘著
(
アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修
;
カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 15
)
データ種別
図書
出版者
東京 : 培風館
出版年
1995.12
本文言語
日本語
大きさ
xi, 366p ; 22cm
所蔵情報を非表示
配架場所
巻 次
請求記号
登録番号
状 態
ISBN
資料種別
利用注記
請求メモ
予約
2F書庫1-和書
549.7/O 69
010135885
4563036153
図書
書誌詳細を非表示
別書名
異なりアクセスタイトル:ウルトラクリーンULSI技術
一般注記
参考文献: 各章末
著者標目
大見, 忠弘(1939-)
<オオミ, タダヒロ>
件 名
BSH:
集積回路
NDLSH:
半導体
分 類
NDC8:
549.7
NDC8:
549.8
NDLC:
ND371
書誌ID
1000051383
ISBN
4563036153
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