アタラシイ ハンドウタイ セイゾウ プロセス ト ザイリョウ
新しい半導体製造プロセスと材料
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : シーエムシー |
| 出版年 | 2000.5 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | v, 274p ; 27cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | ISBN | 資料種別 | 利用注記 | 請求メモ | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F書庫1-和書 |
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549.8/A 94 | 010139857 | 488231276X | 図書 |
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書誌詳細を非表示
| 別書名 | 標題紙タイトル:New process and materials of semiconductore equipment |
|---|---|
| 一般注記 | 監修: 大見忠弘 文献: 各章末 |
| 著者標目 | 大見, 忠弘(1939-) <オオミ, タダヒロ> |
| 件 名 | NDLSH:半導体 |
| 分 類 | NDC9:549.8 NDLC:ND371 |
| 書誌ID | 1000051830 |
| ISBN | 488231276X |
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