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ハクマクカ ギジュツ

薄膜化技術 / 和佐清孝, 早川茂著

データ種別 図書
出版者 東京 : 共立出版
出版年 2002.6
本文言語 日本語
大きさ viii, 316p ; 22cm

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配架場所 巻 次 請求記号 登録番号 状 態 ISBN 資料種別 利用注記 請求メモ 予約
2F書庫1-和書
549.8/W 41 010272201 4320086139 図書

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一般注記 折り込図1枚: 元素周期表 (蒸気圧・スパッタ率・薄膜形成法)
著者標目 和佐, 清孝 <ワサ, キヨタカ>
早川, 茂 <ハヤカワ, シゲル>
件 名 BSH:薄膜
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
書誌ID 1000061030
ISBN 4320086139

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