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プロセス ノ テイオンカ

プロセスの低温化 / 西澤潤一編

(半導体研究 / 半導体研究振興会編;21巻 . 超LSI技術 ; 8)
データ種別 図書
出版者 東京 : 工業調査会
出版年 1985.3
本文言語 日本語
大きさ 10, 331p, 挿図 ; 27cm

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配架場所 巻 次 請求記号 登録番号 状 態 ISBN 資料種別 利用注記 請求メモ 予約
2F書庫1-和書
549.8/N 81 000584962 4769310439 図書

書誌詳細を非表示

一般注記 執筆: 石川潔ほか
各章末: 参考文献
著者標目 西澤, 潤一(1926-) <ニシザワ, ジュンイチ>
件 名 NDLSH:半導体
分 類 NDC8:549
NDLC:ND371
書誌ID 1000068334
ISBN 4769310439

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