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ハンドウタイ エピタキシー ギジュツ

半導体エピタキシー技術 / 河東田隆著

(集積回路プロセス技術シリーズ)
データ種別 図書
出版者 東京 : 産業図書
出版年 1982.10
本文言語 日本語
大きさ vii, 193p ; 22cm

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配架場所 巻 次 請求記号 登録番号 状 態 ISBN 資料種別 利用注記 請求メモ 予約
2F書庫1-和書
549.8/KA86 000584935 4782856229 図書

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一般注記 各章末:参考文献
著者標目 河東田, 隆(1944-) <カトウダ, タカシ>
件 名 NDLSH:半導体
分 類 NDC8:549.8
NDLC:ND371
書誌ID 1000068340
ISBN 4782856229

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