HIGH VACUUM PRODUCTION IN THE MICROELECTRONICS INDUSTRY
データ種別 | 図書 |
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出版者 | Amsterdam; Tokyo : Elsevier |
出版年 | 1988 |
本文言語 | 英語 |
大きさ | xiii, 222 p. : ill. ; 25 cm |
配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | ISBN | 資料種別 | 利用注記 | 請求メモ | 予約 |
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1F書庫3-洋書 |
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549.09/D 93 | 002063335 | 044442878X | 図書 |
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一般注記 | Includes index |
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著者標目 | *Duval, Pierre |
件 名 | PRECIS:Microelectronics industries. Applications of vacuum technology |
分 類 | DC19:621.5/5 |
書誌ID | 1000070070 |
ISBN | 044442878X |