マイクロ ナノマシン ギジュツ ニュウモン : ハンドウタイ ギジュツ デ ツクル ビショウ キカイ ト ソノ オウヨウ
マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用 / 藤田博之著
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 工業調査会 |
| 出版年 | 2003.8 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | 232p ; 21cm |
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| 著者標目 | 藤田, 博之(1952-) <フジタ, ヒロユキ> |
|---|---|
| 件 名 | BSH:マイクロマシン |
| 分 類 | NDC8:530 NDC9:530 |
| 書誌ID | 1000081530 |
| ISBN | 4769371179 |
類似資料
- 1 はじめてのMEMS : micro electro mechanical systems / 江刺正喜著
- 2 マイクロオプトメカトロニクスハンドブック / 五十嵐伊勢美, 江刺正喜, 藤田博之編集
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