| Material Type | Books |
|---|---|
| Publisher | 東京 : 工業調査会 |
| Year | 1999.3 |
| Language | Japanese |
| Size | 254p ; 21cm |
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| Location | Volume | Call No. | Barcode No. | Status | ISBN | Media type | Restriction | Request Memo | Reserve |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F書庫1-和書 |
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549.8/Ma26 | 010350548 | 4769311699 | 図書 |
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| Notes | さらに半導体製造装置を学ぶ人のための参考書: p245-247 引用文献および資料: p248-250 |
|---|---|
| Authors | 前田, 和夫(1935-) <マエダ, カズオ> |
| Subjects | BSH:半導体 |
| Classification | NDC8:549.8 NDC9:549.8 |
| ID | 1000085745 |
| ISBN | 4769311699 |
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