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ハジメテ ノ ハンドウタイ センジョウ ギジュツ

はじめての半導体洗浄技術 / 小川洋輝, 堀池靖浩著

(ビギナーズブックス;23)
データ種別 図書
出版者 東京 : 工業調査会
出版年 2002.3
本文言語 日本語
大きさ 276p ; 21cm

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配架場所 巻 次 請求記号 登録番号 状 態 ISBN 資料種別 利用注記 請求メモ 予約
2F書庫1-和書
549.8/O 24 010350587 4769312121 図書

書誌詳細を非表示

一般注記 参考文献: 各章末
著者標目 小川, 洋輝 <オガワ, ヒロキ>
堀池, 靖浩 <ホリイケ, ヤスヒロ>
件 名 BSH:半導体
BSH:洗浄法
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
書誌ID 1000085804
ISBN 4769312121

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