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ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ

はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著

(ビギナーズブックス;29)
データ種別 図書
出版者 東京 : 工業調査会
出版年 2003.6
本文言語 日本語
大きさ 305p ; 21cm

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配架場所 巻 次 請求記号 登録番号 状 態 ISBN 資料種別 利用注記 請求メモ 予約
2F書庫1-和書
549.7/O 48 010350590 4769312245 図書

書誌詳細を非表示

著者標目 岡崎, 信次 <オカザキ, シンジ>
鈴木, 章義 <スズキ, アキヨシ>
上野, 巧 <ウエノ, タクミ>
件 名 BSH:リソグラフィー
BSH:半導体
分 類 NDC8:549.7
NDC9:549.7
書誌ID 1000085835
ISBN 4769312245

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