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ハンドウタイ プラズマ プロセス ギジュツ

半導体プラズマプロセス技術 / 菅野卓雄編著

(集積回路プロセス技術シリーズ)
データ種別 図書
出版者 東京 : 産業図書
出版年 1980.7
本文言語 日本語
大きさ 6, 373p ; 22cm

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配架場所 巻 次 請求記号 登録番号 状 態 ISBN 資料種別 利用注記 請求メモ 予約
2F書庫1-和書
549.6/SU25 000584757 4782856210 図書

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一般注記 各章末:参考文献
著者標目 菅野, 卓雄(1931-) <スガノ, タクオ>
件 名 NDLSH:集積回路
分 類 NDC6:549.7
NDC8:549.7
NDLC:ND386
書誌ID 1000091737
ISBN 4782856210

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