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マイクロ カコウ ノ ブツリ ト オウヨウ
マイクロ加工の物理と応用 / 吉田善一著
(
応用物理学選書
;
8
)
データ種別
図書
出版者
東京 : 裳華房
出版年
1998.3
本文言語
日本語
大きさ
x, 234p ; 22cm
所蔵情報を非表示
配架場所
巻 次
請求記号
登録番号
状 態
ISBN
資料種別
利用注記
請求メモ
予約
2F書庫1-和書
549.7/Y 86
010473653
4785325089
図書
書誌詳細を非表示
別書名
その他のタイトル:The physics and technology of microfabrication
一般注記
欧文標題は標題紙裏による
付: 参考文献, 参考書
著者標目
吉田, 善一(1957-)
<ヨシダ, ヨシカズ>
件 名
BSH:
集積回路
BSH:
電子光学
NDLSH:
半導体
NDLSH:
機械工作
分 類
NDC8:
549.7
NDC9:
549.7
NDC9:
549.8
NDLC:
ND371
書誌ID
1000098064
ISBN
4785325089
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