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セイゾウ プロセスヘン
製造プロセス編 / 角南英夫著
(
電子情報通信レクチャーシリーズ / 電子情報通信学会編
;
D-27 . VLSI工学
)
データ種別
図書
出版者
東京 : コロナ社
出版年
2006.8
本文言語
日本語
大きさ
xii, 189p ; 26cm
所蔵情報を非表示
配架場所
巻 次
請求記号
登録番号
状 態
ISBN
資料種別
利用注記
請求メモ
予約
2F書庫1-和書
549.7/D 59
010406765
4339018872
図書
書誌詳細を非表示
別書名
奥付タイトル:VLSI technology : fabrication processes
一般注記
引用・参考文献: p[177]-186
著者標目
電子情報通信学会
<デンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ>
角南, 英夫
<スナミ, ヒデオ>
件 名
NDLSH:
集積回路
分 類
NDC9:
549.7
書誌ID
1000098670
ISBN
4339018872
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