北海道科学大学OPAC

ようこそ  ゲスト さん

セイゾウ プロセスヘン

製造プロセス編 / 角南英夫著

(電子情報通信レクチャーシリーズ / 電子情報通信学会編;D-27 . VLSI工学)
データ種別 図書
出版者 東京 : コロナ社
出版年 2006.8
本文言語 日本語
大きさ xii, 189p ; 26cm

所蔵情報を非表示

配架場所 巻 次 請求記号 登録番号 状 態 ISBN 資料種別 利用注記 請求メモ 予約
2F書庫1-和書
549.7/D 59 010406765 4339018872 図書

書誌詳細を非表示

別書名 奥付タイトル:VLSI technology : fabrication processes
一般注記 引用・参考文献: p[177]-186
著者標目 電子情報通信学会 <デンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ>
角南, 英夫 <スナミ, ヒデオ>
件 名 NDLSH:集積回路
分 類 NDC9:549.7
書誌ID 1000098670
ISBN 4339018872

ページトップ