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セイゾウ プロセスヘン

製造プロセス編 / 角南英夫著

(電子情報通信レクチャーシリーズ / 電子情報通信学会編;D-27 . VLSI工学)
Material Type Books
Publisher 東京 : コロナ社
Year 2006.8
Language Japanese
Size xii, 189p ; 26cm

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Location Volume Call No. Barcode No. Status ISBN Media type Restriction Request Memo Reserve
2F書庫1-和書
549.7/D 59 010406765 4339018872 図書

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Other titles colophon title:VLSI technology : fabrication processes
Notes 引用・参考文献: p[177]-186
Authors 電子情報通信学会 <デンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ>
角南, 英夫 <スナミ, ヒデオ>
Subjects NDLSH:集積回路
Classification NDC9:549.7
ID 1000098670
ISBN 4339018872

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