MEMS NEMS ノ サイシン ドウコウ : マイクロ マシン ノ キソ ト オウヨウ
MEMS・NEMSの最新動向 : マイクロマシンの基礎と応用 / 東レリサーチセンター調査研究部門
| Material Type | Books |
|---|---|
| Publisher | 東京 : 東レリサーチセンター |
| Year | 2004.5 |
| Language | Japanese |
| Size | 8, 4, 383p ; 30cm |
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| Authors | 東レリサーチセンター調査研究部門 <トウレ リサーチ センター チョウサ ケンキュウ ブモン> |
|---|---|
| Subjects | NDLSH:マイクロマシン |
| Classification | NDC9:530 NDLC:NB21 |
| ID | 1000103082 |
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