北海道科学大学OPAC

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ジセダイ ハンドウタイ オ ササエル ビサイ カコウ ギジュツ

次世代半導体を支える微細加工技術 / 東レリサーチセンター調査研究部門制作

(TRC R&D library)
データ種別 図書
出版者 東京 : 東レリサーチセンター調査研究部門
出版年 2006.8
本文言語 日本語
大きさ 12, 492p : 挿図 ; 30cm

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配架場所 巻 次 請求記号 登録番号 状 態 ISBN 資料種別 利用注記 請求メモ 予約
2F書庫1-和書
549.8/To66 010510397
図書

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一般注記 引用文献: 各章末
著者標目 東レリサーチセンター調査研究部門 <トウレ リサーチ センター チョウサ ケンキュウ ブモン>
書誌ID 1000103288

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