サイシン シリコン デバイス ト ケッショウ ギジュツ : センタン LSI ウェーハ ギジュツ ノ ゲンジョウ
最新シリコンデバイスと結晶技術 : 先端LSIが要求するウェーハ技術の現状 / 清水博文 [ほか] 編
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : リアライズ理工センター |
| 出版年 | 2005.12 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | 13, 330, 8 ; 30cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | ISBN | 資料種別 | 利用注記 | 請求メモ | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F書庫1-和書 |
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549.8/Sa22 | 010505144 | 4898080677 | 図書 |
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| 一般注記 | その他の編者: 池田和子, 高田清司, 福田哲生 |
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| 著者標目 | 清水, 博文(1945-) <シミズ, ヒロフミ> |
| 書誌ID | 1000103298 |
| ISBN | 4898080677 |