ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク キュー アンド エー : ハンノウセイ コウソク スパッタ ノ ジツム アドバイス
現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス / 小島啓安著
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 日刊工業新聞社 |
| 出版年 | 2008.8 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | ix, 384p ; 21cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | ISBN | 資料種別 | 利用注記 | 請求メモ | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F書庫1-和書 |
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549.8/Ko39 | 010504650 | 9784526061196 | 図書 |
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