ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク キュー アンド エー : ハンノウセイ コウソク スパッタ ノ ジツム アドバイス
現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス / 小島啓安著
| Material Type | Books |
|---|---|
| Publisher | 東京 : 日刊工業新聞社 |
| Year | 2008.8 |
| Language | Japanese |
| Size | ix, 384p ; 21cm |
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| Location | Volume | Call No. | Barcode No. | Status | ISBN | Media type | Restriction | Request Memo | Reserve |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F書庫1-和書 |
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549.8/Ko39 | 010504650 | 9784526061196 | 図書 |
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