| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 日刊工業新聞社 |
| 出版年 | 2004.1 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | 159p ; 21cm |
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| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:超微細加工の本 : トコトンやさしい |
|---|---|
| 一般注記 | 参考書: p158-159 |
| 著者標目 | 麻蒔, 立男(1934-) <アサマキ, タツオ> |
| 件 名 | BSH:電子工学 BSH:ナノテクノロジー |
| 分 類 | NDC8:549 NDC9:549 |
| 書誌ID | 1000110673 |
| ISBN | 4526052264 |
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