| Material Type | Books |
|---|---|
| Publisher | 東京 : 日刊工業新聞社 |
| Year | 2004.1 |
| Language | Japanese |
| Size | 159p ; 21cm |
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| Other titles | variant access title:超微細加工の本 : トコトンやさしい |
|---|---|
| Notes | 参考書: p158-159 |
| Authors | 麻蒔, 立男(1934-) <アサマキ, タツオ> |
| Subjects | BSH:電子工学 BSH:ナノテクノロジー |
| Classification | NDC8:549 NDC9:549 |
| ID | 1000110673 |
| ISBN | 4526052264 |
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