プラズマ プロセス ノ ゲンリ
プラズマ/プロセスの原理 / Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 ; 佐藤久明訳
| データ種別 | 図書 |
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| 出版者 | 東京 : 丸善 |
| 出版年 | 2010.1 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | xxix, 612p : 挿図 ; 26cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | ISBN | 資料種別 | 利用注記 | 請求メモ | 予約 |
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| 2F書庫1-和書 |
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427.6/L 62 | 010584685 | 9784621082232 | 図書 |
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| 別書名 | 原タイトル:Principles of plasma discharges and materials processing 異なりアクセスタイトル:プラズマプロセスの原理 |
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| 一般注記 | 監修: 堀勝 参考文献: p[591]-604 |
| 著者標目 | Lieberman, M. A. (Michael A.) <サトウ, ヒサアキ> Lichtenberg, Allan J <ホリ, マサル> 佐藤, 久明 堀, 勝(1958-) |
| 件 名 | BSH:プラズマ物理学 NDLSH:薄膜 |
| 分 類 | NDC8:427.6 NDC9:427.6 |
| 書誌ID | 1000113024 |
| ISBN | 9784621082232 |
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