プラズマ プロセス ノ ゲンリ
プラズマ/プロセスの原理 / Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 ; 佐藤久明訳
| Material Type | Books |
|---|---|
| Publisher | 東京 : 丸善 |
| Year | 2010.1 |
| Language | Japanese |
| Size | xxix, 612p : 挿図 ; 26cm |
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| Location | Volume | Call No. | Barcode No. | Status | ISBN | Media type | Restriction | Request Memo | Reserve |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F書庫1-和書 |
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427.6/L 62 | 010584685 | 9784621082232 | 図書 |
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| Other titles | original title:Principles of plasma discharges and materials processing variant access title:プラズマプロセスの原理 |
|---|---|
| Notes | 監修: 堀勝 参考文献: p[591]-604 |
| Authors | Lieberman, M. A. (Michael A.) <サトウ, ヒサアキ> Lichtenberg, Allan J <ホリ, マサル> 佐藤, 久明 堀, 勝(1958-) |
| Subjects | BSH:プラズマ物理学 NDLSH:薄膜 |
| Classification | NDC8:427.6 NDC9:427.6 |
| ID | 1000113024 |
| ISBN | 9784621082232 |
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