プラズマ プロセス ノ ゲンリ
Material Type | Books |
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Publisher | 東京 : 丸善 |
Year | 2010.1 |
Language | Japanese |
Size | xxix, 612p : 挿図 ; 26cm |
Location | Volume | Call No. | Barcode No. | Status | ISBN | Media type | Restriction | Request Memo | Reserve |
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2F書庫1-和書 |
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427.6/L 62 | 010584685 | 9784621082232 | 図書 |
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Other titles | original title:Principles of plasma discharges and materials processing variant access title:プラズマプロセスの原理 |
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Notes | 監修: 堀勝 参考文献: p[591]-604 |
Authors | Lieberman, M. A. (Michael A.) <サトウ, ヒサアキ> Lichtenberg, Allan J <ホリ, マサル> 佐藤, 久明 堀, 勝(1958-) |
Subjects | BSH:プラズマ物理学 NDLSH:薄膜 |
Classification | NDC8:427.6 NDC9:427.6 |
ID | 1000113024 |
ISBN | 9784621082232 |
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