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Handbook of physical vapor deposition (PVD) processing / Donald M. Mattox

データ種別 図書
出版者 Kidlington, Oxford : William Andrew
出版年 c2010
本文言語 英語
大きさ xlvi, 746 p. : ill. ; 25 cm

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配架場所 巻 次 請求記号 登録番号 状 態 ISBN 資料種別 利用注記 請求メモ 予約
2F開架-洋書
566.7/Ma94 010658011 9780815520375 図書

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一般注記 Includes bibliographical references and index
著者標目 *Mattox, D. M.
件 名 LCSH:Physical vapor deposition -- Handbooks, manuals, etc
分 類 DC22:671.735
書誌ID 1000120739
ISBN 9780815520375

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