データ種別 | 図書 |
---|---|
版 | 普及版 |
出版者 | 東京 : シーエムシー出版 |
出版年 | 2015.11 |
本文言語 | 日本語 |
大きさ | vii, 317p : 挿図 ; 26cm |
配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | ISBN | 資料種別 | 利用注記 | 請求メモ | 予約 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
2F書庫1-和書 |
|
549.7/U 32 | 3000007251 | 9784781310398 | 図書 |
|
別書名 | 標題紙タイトル:New trends of photoresists |
---|---|
一般注記 | 2009年刊の普及版 文献: 各章末 |
著者標目 | 上田, 充(1948-) <ウエダ, ミツル> |
件 名 | BSH:リソグラフィー BSH:感光性樹脂 |
分 類 | NDC8:549.7 NDC9:549.7 |
書誌ID | 4000007496 |
ISBN | 9784781310398 |