| Material Type | Books |
|---|---|
| Edition | 普及版 |
| Publisher | 東京 : シーエムシー出版 |
| Year | 2015.11 |
| Language | Japanese |
| Size | vii, 317p : 挿図 ; 26cm |
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| Location | Volume | Call No. | Barcode No. | Status | ISBN | Media type | Restriction | Request Memo | Reserve |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F書庫1-和書 |
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549.7/U 32 | 3000007251 | 9784781310398 | 図書 |
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| Other titles | title page title:New trends of photoresists |
|---|---|
| Notes | 2009年刊の普及版 文献: 各章末 |
| Authors | 上田, 充(1948-) <ウエダ, ミツル> |
| Subjects | BSH:リソグラフィー BSH:感光性樹脂 |
| Classification | NDC8:549.7 NDC9:549.7 |
| ID | 4000007496 |
| ISBN | 9784781310398 |
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