北海道科学大学OPAC

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Semiconductor wafer bonding : science and technology / Q. -Y. Tong, U. Gösele

(The Electrochemical Society series)
データ種別 図書
出版者 New York : John Wiley
出版年 c1999
本文言語 英語
大きさ xviii, 297 p. ; 24 cm

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配架場所 巻 次 請求記号 登録番号 状 態 ISBN 資料種別 利用注記 請求メモ 予約
1F書庫3-洋書
549.8/G 69 010087452 0471574813 図書

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一般注記 Includes index
著者標目 *Gösele, U.
Tong, Q.-Y
件 名 LCSH:Semiconductors -- Bonding
LCSH:Semiconductor wafers
分 類 LCC:TK7871.85
DC21:621.3815/2
書誌ID 1000049187
ISBN 0471574813

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