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シリコン : ケッショウ セイチョウ ト ウエーハ カコウ

シリコン : 結晶成長とウエーハ加工 / 阿部孝夫著

(アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修;カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 5)
データ種別 図書
出版者 東京 : 培風館
出版年 1994.5
本文言語 日本語
大きさ xii, 361p ; 22cm

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配架場所 巻 次 請求記号 登録番号 状 態 ISBN 資料種別 利用注記 請求メモ 予約
2F書庫1-和書
549.8/A 12 010025781 4563036056 図書

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一般注記 各章末: 参考文献
著者標目 阿部, 孝夫 <アベ, タカオ>
件 名 NDLSH:結晶成長
NDLSH:電子部品
分 類 NDC8:549.8
書誌ID 1000045324
ISBN 4563036056

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