AIP conference proceedings
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | New York : American Institute of Physics |
| 本文言語 | 英語 |
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| 1 | no. 167 . American Vacuum Society series ; 4 Deposition and growth : limits for microelectronics, Anaheim, CA 1987 / editor, G.W. Rubloff New York : American Institute of Physics , 1988 |
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| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:American Institute of Physics conference proceedings |
|---|---|
| 著者標目 | American Institute of Physics |
| 書誌ID | 2000029914 |